关注次数: 次
商品类型:特气柜骋颁/特气架骋搁
上架时间:2021-11-06
产物描述:特气柜主要用要供应特种气体,如易燃,易爆,剧毒等,主要用于半导体和尝贰顿的新兴行业。
咨询电话:0791-88861517
叁瓶全自动特气柜
规格:叁瓶工艺气瓶,全自动,带吹扫狈2
■ 特气柜尺寸:W1100宽×D500深×H1800高
■ 外吹扫:PN2,1/4"MVCR接口
■ 抽真空:GN2,1/4"MVCR接口
■ 气动隔膜阀:CDA驱动,1/4"卡套接口
■ VENT排空管:1/2MVCR接口
■ 工艺气体出口:2个,1/4"MVCR接口
■ 盘面规格:1/4"盘面
■ 标准配备:自动切换,防爆防腐柜体,双开防爆自锁门,防爆玻璃观察窗,泄漏报警,远程切断,欠压报警,主材SS316L
■ 柜体换气量:4"排气口,1200次/小时
■ 控制柜尺寸:W1100宽×D230深×H320高
■ 控制柜电源:220VAC,50HZ,200W,漏电保护
■ 操作界面:7"彩色触摸屏
■ 选配:工艺气瓶重量监控器,工艺气体超压报警,盘面加热及温控装置,报警信号手机短信与电话通知
适用范围:
应用在 MOCVD、PECVD、刻蚀机等配套设备上,适用于芯片半导体、光伏太阳能电池、生物医药工程、微电子新材料等行业。